采用增量式数字光栅，精度高；
采用交叉导轨，刚度强，高负载，高导向精度；
Z轴采用音圈电机驱动，两个组合，结构紧凑；
适用于：半导体检测行业, 激光切割, 生物技术, 计量, 激光打标。
LMT-XYZ一体式直线平台
具有精度高、刚性高、负载大、导向性高；
增量式光栅采用非接触式安装，非线性效应、机械作用或弹性形变不会对测量造成影响；
交叉式导轨，减少摩擦，让运行更平滑，防止蠕变；
在原有的XY平台上直接搭载音圈Z轴，结构更紧凑，满足客户更多元的使用需求。
| 参 数 | LMT-XY-200*200 | NFZ10 | ABVT-Z20(气浮导轨) |
| 有效行程 mm | 200*200 | 10 | 10 |
| 光栅分辨率 nm | 默认100nm数字量（可选1vpp模拟量或者其他分辨率） | 1vpp细分至5nm | |
| 重复定位精度 μm | ±0.3 | ||
| 定位精度μm | ±1 | ±0.5 | ±0.5 |
| 平面度 μm | 10 | 8 | 5 |
| 直线度 μm | 1 | 1.5 | 1 |
| 电机类型 | 三相无铁芯直线电机 | 音圈电机 | 音圈电机 |
| 电机推力 | 持续60N/峰值210N | 持续30N/峰值90N | 持续27N/峰值119N |
| 最大速度 mm/s | 500 | 50 | 30 |
| 最小步长 nm | 200 | 200 | 100 |
| 最大负载 kg | 5（Z轴带气动恒力平衡配重） | ||
