采用并联结构方式，三轴驱动共同控制同一平台，可实现负载的精准定位和移动
TR23轴并联运动平台
是我司的特色产品，相比于其他的高端多自由度平台，我们具有高性价比。
三轴采用并联结构，各轴可配置步进电机或者伺服电机，控制器内部特有的控制算法，实现高精度的控制；
优化整体系统的刚性；
平台中部可有通光孔径；
适用于：科研、显微操纵、生物技术、半导体制造等。
规 格 | 参 数 |
| Z轴最大行程 | ±5mm |
| Z轴分辨率 | 4.88nm |
| Z轴重复定位精度 | ±0.2μm |
| 位置稳定性 | ±20nm |
| 最大速度 | 5mm/s |
| 最大加速度 | 2m/s |
| θX/θY最大行程 | ±2.5° |
| θ轴分辨率 | 0.15sec |
| θ轴重复定位精度 | ±1sec |
| 最大速度 | 1°/s |
| 最大加速度 | 20°/s∧2 |
| 配重平衡方式 | 气动衡力平衡（最小气压0.1MPa最大气压0.6MPa） |
| 最大负载 | 20kg |
