高定位精度、高速度稳定性、
低跳动误差、载荷能力强，
可用于晶圆加工检测、生物检测、光学检测等高精度要求行业。
ABRX-M150直驱气浮转台
可侧向放置使用，不会出现气浮抱死的问题；
采用直驱电机驱动，转矩高，在低速或高速时转动平滑；
气浮转台径向刚度大，可应用于曲面微加工或测试，在断电旋转和自动旋转时跳动误差保持一致。
| 规 格 | 参 数 |
| 电机扭矩 | 0.32Nm额定/1.2Nm峰值 |
| 最大转速 | 1000rpm |
| 编码器线数 | 7200line |
| 编码器分辨率 | 0.45sec（数字量对应0.1μm，可选1vpp更高分辨率） |
| 重复定位精度 | ≤±1sec |
| 轴向最大负载（5bar） | 800N |
| 径向最大负载（5bar） | 200N |
| 轴向最大刚性（5bar） | 320N/μm |
| 径向最大刚性（5bar） | 85N/μm |
| 轴向最大跳动* | <100nm |
| 径向最大跳动* | <100nm |
| 综合耗气量 | 18NL/min |
