下轴采用双直线电机驱动、载荷大,
平台采用气浮导轨,无接触,不摩擦,少维护,速度快、刚性好,
采用纳米级光栅反馈,控制精度高。
ABT-XY-360360超高精度直线平台有普通材质版和陶瓷版两种。
两种材质的平台,下轴皆采用双直线电机驱动、载荷大;
平台采用气浮导轨,无接触,不摩擦,少维护,速度快、刚性好;
采用纳米级光栅反馈,控制精度高;
陶瓷版本采用了高纯度的氧化铝作为气浮结构件及导向原件,相对于花岗岩和金属而言,氧化铝陶瓷具有膨胀系数更小,且直线度、硬度、耐磨性更加的优点。
参 数 | 普通版 | 陶瓷版 |
有效行程 mm | 360*360 | |
光栅分辨率 nm | sin\cos 4.88nm(可选其它更高分辨率) | |
重复定位精度 μm | ±0.15 | ±0.1 |
定位精度 μm | ±0.5 | ±0.3 |
平面度 μm | ±1 | ±0.5 |
直线度 μm | 1.5 | 1 |
电机类型 | 三相无铁芯直线电机 | |
上轴电机推力 | 持续90N 峰值310N | |
下轴电机推力 | 持续219N*2 峰值750N*2 | |
最大速度 m/s | 500mm/s | |
上轴空载加速度 g | 4.5G | |
下轴空载加速度 g | 3G | |
最小步长 nm | 10nm(搭配nanopwm或者线性驱动器) | |
最大负载 kg | 50 |